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正確測量真空漏率

真空漏率測量的辦法是以示漏物質(zhì)夜蓋被橙容器的整個(gè)可疑區(或者被檢容器內充人示漏物質(zhì)),另一側抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內外兩側形成壓差(或示漏物質(zhì)的濃度差),在低壓(或低濃度)側側2示漏物質(zhì)的漏率
和濃度變化。

(1)加壓條件下容器漏率的測定

在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。

(2)真空條件下容器漏率的測定

①利用接人真空容器的真空規、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計來(lái)測定容器的漏率。

②可以選用流盆測量、壓力測量、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來(lái)測全漏率。

(3)密封件的無(wú)損檢漏

①盡量利用密封件上可用來(lái)指示密封器件內部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規管和殘氣分析質(zhì)譜計等進(jìn)行檢漏。

②有些原來(lái)不是測量壓力的裝置,如:電子管、顯像管等,若改換饋電方式,將其電極接成電離規的方式,測全出管內離子流的變化,便可知管內壓力的變化率。大批量生產(chǎn)這類(lèi)器件時(shí),可以通過(guò)校準的方法把離子流的變化率直接換算成漏率。

③如果密封件內部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí),采用動(dòng)態(tài)法或靜態(tài)法對漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測,就可測出漏孔來(lái)。通常這類(lèi)密封件內部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高。因此,檢漏靈敏度高,費用低。

④背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時(shí)的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀,氮質(zhì)譜檢漏儀,放射性同位素等檢漏方法和儀器。

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