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擴散泵的噴嘴

在多級擴散泵中,利用傘形噴嘴和噴射噴嘴及導流管組成泵的導流系統。
1.傘形噴嘴(擴散噴嘴)
傘形噴嘴其特點(diǎn)是噴嘴直徑一級比一級大,呈塔形。因為噴嘴與泵壁之間的間隙越大,氣體擴散的有效面積就越大。所以位于入口端的第一級主要從增大泵的抽速來(lái)考慮。氣體經(jīng)過(guò)一次壓縮后,壓力就增大,氣體密度較高,在較小的面積里就能通過(guò),所以,后幾級噴嘴與泵壁的間隙就做的越來(lái)越小,這樣還可以阻止壓力越來(lái)越高的氣體穿過(guò)蒸氣流反擴散到高真空端去,使泵的極限壓力降低。
傘形噴嘴有兩個(gè)主要的幾何參數:
1)噴嘴間隙。間隙的大小影響到油蒸汽流的流量及泵的性能。
2)噴嘴張角。張角過(guò)大,從噴嘴到泵壁的距離遠了,在泵壁附近不能形成較密集的蒸氣流,氣體反擴散增強,泵抽氣性能變壞;張角太小,油分子的水平方向速度增大,容易引起油蒸氣反射到高真空端去,并使氣體分子向蒸氣流的擴散受到阻礙,也會(huì )使泵的抽氣性能變壞。一般,張角的選取范圍在50°~80°,對于不同大小和型式的泵,設計時(shí)選取的張角的數值也不同。
2.噴射噴嘴
擴散泵末級有用噴射噴嘴的,它與傘形噴嘴不同,它的形狀是先減縮后漸擴,中間有個(gè)截面積最小的喉部。這種噴嘴通常和一個(gè)擴壓器相配合,來(lái)保證泵能承受較高的出口壓力。
采用噴射噴嘴和擴壓器后,不僅可以提高泵的最大許可出口壓力,也可以提高泵在中等壓力時(shí)的抽速。故一般擴散泵常以噴嘴噴射作為最后一級,也稱(chēng)噴射級。


 
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