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鈦升華器的結構

鈦升華器的要求是:能提供所需要的鈦升華率;鈦升華率易于調節,可連續或間斷地供應吸氣劑;鈦升華器本身出氣少或易于去

氣;要有足夠的工作壽命,即要有足夠的鈦儲存量。對于不同口徑、不同工作壓力的泵,要求的升華率和吸氣劑儲量差別很大,可

以從每小時(shí)幾十克甚至到幾百克的升華率,上千克的儲存量。因此很難設計一種升華器滿(mǎn)足這樣寬的要求。通?煞譃榈蜕A率的

和高升華率的兩種升華器。

低升華率的升華器大多在小型系統中,用以幫助濺射離子泵啟動(dòng),或者提供較大的活性氣體抽速,通常把升華率每小時(shí)幾十毫克,

吸氣劑儲量為幾克到幾十克的升華器,稱(chēng)為小功率升華器。對這種升華器的主要要求是工作可靠,操作方便,結構簡(jiǎn)單。

高升華率的升華器通常用于做主泵的系統中。要求升華率在每小時(shí)幾克到幾十克,特殊的也有每小時(shí)幾百克的。為保證工作壽命,

儲鈦量要求盡可能的多。

鈦升華器按加熱方式有電阻加熱式、熱傳導加熱式、輻射加熱式、電子轟擊加熱式等四種類(lèi)型。

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